炭化珪素ウェハの信頼性・バーンイン試験において、ウェハレベルで優れた性能を発揮する全自動バーンインテストハンドラー
カセットからチャックまでのウェーハハンドリングを自動化する高精度アクティブアライメントガントリーシステムにより、4枚のウェーハを同時にバーンインすることが可能です。
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カセットからチャックまでのウェーハハンドリングを自動化する高精度アクティブアライメントガントリーシステムにより、4枚のウェーハを同時にバーンインすることが可能です。
Trooper-BI4は、炭化珪素ウェハの信頼性・バーンイン試験において、ウェハレベルで優れた性能を発揮する全自動バーンインテストハンドラーです。カセットからチャックまでのウェーハハンドリングを自動化する高精度アクティブアライメントガントリーシステムにより、4枚のウェーハを同時にバーンインすることが可能です。ハンドラーは2 “から12 “までのウェハーに対応し、200℃までのサーマルチャック温度で、ウェハー当たり1800テストチャンネルに達するマルチプローブテストを提供します。


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